薄膜测厚仪的操作使用原理主要基于以下几种物理测量方法‌：

‌机械接触式测量方法‌：这种方法将预先处理好的样品置于设备测量台面上，测量头以一定的压力落到试样的另一面上，传感器检测上下测量面之间的距离，即为薄型试样的厚度。这种方法适用于各种单层薄膜材料或者纸张等平面材料的厚度测量‌12。

‌磁感应法‌：利用磁感应原理，通过测量磁场在薄膜中的变化来推断薄膜的厚度。当测头（带有磁场的部件）接近或接触薄膜时，薄膜对磁场的影响会导致磁通量的变化，通过测量这种变化可以计算出薄膜的厚度。这种方法主要适用于导磁基体上的非导磁覆层厚度的测量，如金属表面涂层、电镀层等‌23。

‌光学干涉法‌：当一束光波或电磁信号照射到材料表面时，一部分光或信号会被反射，另一部分会透射。在薄膜表面和底部之间，这些光波或电磁信号会经历多次反射和透射，形成干涉现象。通过测量反射和透射光波的相位差，可以计算出薄膜的厚度。这种方法适用于各种材料的薄膜厚度测量‌24。

‌X射线吸收法‌：使用X射线穿过薄膜，并测量透射的X射线强度。不同厚度的薄膜会吸收不同量的X射线，因此可以通过测量透射X射线的强度来推断薄膜的厚度。这种方法适用于各种材料的薄膜厚度测量，特别是对于较厚的薄膜或需要高精度测量的场合‌2。

‌电容法‌：通过在薄膜上施加电场，并测量电容的变化来计算薄膜的厚度。由于薄膜的厚度会影响其电容值，因此可以通过测量电容的变化来间接得到薄膜的厚度。这种方法特别适用于电介质薄膜的厚度测量‌